La littérature sur l’atomic layer deposition (ALD) et l’atomic layer etching (ALE) reste très hétérogène, qu’il s’agisse d’articles expérimentaux ou de travaux de simulation. Cette diversité de formats complique la comparaison des résultats, mais aussi leur réutilisation dans des workflows numériques ou des bases de connaissances exploitables automatiquement.
Dans un article déposé sur arXiv, les auteurs présentent quatre schémas JSON dédiés à ces procédés, couvrant à la fois les cas expérimentaux et les simulations. Selon le résumé, ces schémas ont été revus par des experts du domaine et conçus avec les outils *schema-miner* et *schema-miner pro*. Ils s’appuient également sur QUDT, un cadre sémantique utilisé pour normaliser les grandeurs, unités et concepts techniques.
Les schémas proposés visent à structurer plusieurs dimensions clés des publications: les matériaux, les conditions de procédé, les configurations expérimentales ou de simulation, ainsi que les résultats mesurés ou prédits. Les auteurs indiquent comparer la portée, la structure et l’ancrage sémantique de ces modèles, afin de montrer comment ils peuvent servir de base commune pour décrire plus rigoureusement les procédés ALD et ALE.
L’article met aussi en avant un usage concret: l’extraction guidée par schéma depuis la littérature scientifique, puis la publication d’enregistrements structurés via des modèles ORKG. Si le résumé ne détaille pas encore les performances ou l’adoption potentielle de cette approche, la proposition s’inscrit dans une tendance de fond: transformer des résultats scientifiques dispersés en données interopérables, comparables et réutilisables à grande échelle.